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国内首款完全自主可控OPC软件出炉
2022/12/6 作者:子安 文章来源:人民邮电报 

华中科技大学刘世元团队近日成功研发出国内首款完全自主可控、可用于芯片制造的OPC软件,并实现成果转化和产业化,填补了国内在此方面的空白。

据介绍,光刻是芯片制造中最为关键的一种工艺,通过光刻成像系统,将设计好的图形转移到硅片上。随着芯片尺寸不断缩小,硅片上的曝光图形会产生畸变。在90nm甚至180nm以下芯片的光刻制造前,都必须采用一类名为OPC(光学邻近校正)的算法软件进行优化。据悉,如果没有OPC,所有IC制造厂商将失去把芯片设计转化为芯片产品的能力。目前,全球OPC工具软件市场完全由Synopsys、Mentor、ASML-Brion 3家美国公司占领。

刘世元表示,从基础研究到产业化应用,团队整整走了十年,十年磨一剑,“就是要解决芯片从设计到制造的卡脖子问题”。

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